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微电子厂房风机过滤单元送风方式由哪几部分组成?

作者:宏伟装饰来源:www.ourhongwei.com时间:2016-11-22 22:34:34字体:[ ]
       风机过滤单元送风方式主要由新风处理空调机组、洁净室吊顶上安装的风机过滤单元机组(Fan Filter Unit 简称 FFU)、处理洁净室内负荷的干式表冷器盘管、送、回风静压箱、回风夹道等构成。这种方式不需要配置净化循环空调机房,送风静压箱为负压。空气由 FFU 送到洁净室,从回风静压箱经两侧夹道回至送风静压箱,在回风夹道设干式表冷器处理洁净室内负荷。新风处理机可集中设在空调机房内,处理后新风直接送入送风静压箱。

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此文关键词:风机过滤单元送风方式  
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