电子工业厂房高级别洁净室的建造费用问题

一般来说，4(10)级、5(100)级垂直单向流洁净室，其室内的建筑装修(墙、顶、高架地板、门窗等)，净化空调系统(制冷和空调设备、净化FFU、管道、配件、自控等)加起来的初投资大约为15000-20000元每平方，如果加上纯水设备、纯水系统，高纯气系统、废气排放系统、消防系统、供配电系统、真空清扫系统等设备和管线，其单位面积的初期投资可达30000-40000元每平方，在深圳厂房装修中也相对甚少。

以1998年建成的上海某大规模集成电路前工序的洁净室来说，其8时园片的月投资为30000片，中心部分洁净室面积为10000平方米，其中ISO三级、四级垂直单向流净化面积为4000平方米，ISO六级、七级非单向流净化面积为6000平方米，总净化送风量6400000立方米每小时，除土建体外的初期投资为6000万美元，相当于每平方米面积的初投资为人民币50000元每平方。

另外的案例是07年竣工的投产的深圳某TFT基板生产线，洁净室共800平，其中ISO三级洁净室200平，ISO四级洁净室600平，除土建以外的洁净室的建筑装修、冷冻、空调、净化、纯水纯气，废水废气、供配电等设备及其管线的总投资3200万元，折合每平方米面积的初期投资为40000元平方米。

由此可看出，高级别的电子工业洁净厂房的建造投资是非常昂贵的，如何降低建造费用将会是以后的一个重大的课题。